Sensores confocales  Fabricantes, Comerciantes, Proveedores

FRT es uno de los principales proveedores mundiales de metrología 3D para I+D y producción en serie. El FRT MicroProf® está establecido en los mercados de front-end de semiconductores, embalaje avanzado, MEMS, VCSEL, automoción, ingeniería mecánica, óptica, LED y medicina.
Una plataforma ultraestable de tercera generación y un software propio son el resultado de más de 25 años de experiencia. El concepto de multisensor de FRT y la tecnología de medición híbrida dan soporte a las líneas de producción de todo el mundo. Las aplicaciones son sin contacto y totalmente automáticas. Los parámetros de medición son la topografía, la altura de los escalones, la rugosidad, el TTV, la curvatura, el alabeo, la tensión, el grosor de las capas y las pilas, la superposición y el CD, y muchos más.
Se pueden combinar diferentes métodos de medición con sensores de punto, línea y área, así como sensores de espesor de capa y microscopios de fuerza atómica en un solo dispositivo de medición y receta.
Los sistemas de medición, premiados en varias ocasiones, proporcionan (también de forma totalmente automática) información sobre la topografía, la estructura, la altura de los escalones, la rugosidad, el desgaste, el grosor de las capas y muchos otros parámetros, sin contacto y sin destrucción.
En función de la aplicación, pueden combinarse en un dispositivo de medición diferentes métodos de medición con sensores de punto, línea, área y espesor de capa, así como microscopía de fuerza atómica; los rangos de medición pueden abarcar desde el metro hasta el rango subnanométrico.